Ytbeläggning där ett arbetsstycke sekventiellt ytbeläggas med hjälp av två olika gaser i en uppvärmd vakuumbehållare assisterad av plasma. Beskrivning Hur fungerar metoden Arbetsstycket placeras i en uppvärmd behållare som pumpas ur till vakuum. Två olika bärgaser uppblandade med olika ämnen är kopplade till behållaren. Ena gasblandningen släpps in, reagerar med och ytbelägger arbetsstyckets yta [A] understödd av plasma. Plasman gör att processen påskyndas och ger således ett snabbare förlopp. Kvarvarande gasblandning pumpas därefter ut igen med vakuumpumpen. Därefter släppa den andra gasblandningen på som med samma cykel då reagerar med och bygger på föregående beläggning [B]. Vid varje omväxlande cykel så byggs ett atomlager upp på ytan och antalet cyklar styr således tjockleken på den slutliga ytbeläggningen. Plasma Plasma är en gas som tillförts så pass mycket energi att den joniserats och blivit strömledande Läs merVakuum Förklaring på G Plasmaassisterad ångavsättning, PACVD
