Atomlageravsättning, ALD
Tillverkningsmetod Ytbeläggning där ett arbetsstycke sekventiellt ytbeläggas med hjälp av två olika gaser i en uppvärmd vakuumbehållare.
Undergrupper
- Kemisk ångavsättning, CVD
Du är här
Ångavsättning
Plasmaassisterad ångavsättning, PACVD
Tillverkningsmetod Ytbeläggning där ett arbetsstycke sekventiellt ytbeläggas med hjälp av två olika gaser i en uppvärmd vakuumbehållare assisterad av plasma.