Mätmaskin med prob utförs genom att detaljen som skall mätas fixeras på ett mätbord varefter den CNC-positionerad mätproben tar ut några initiala mätpunkter för att kalibrerar en nollpunkt i X/Y/Z. Därefter körs ett mätprogram där proben positioneras mot eller dras längs (scannar) objektets yta för att läsa av måtten.
Mätresultatet kopplas till toleranskraven och ger en omedelbar bild över vilka ytor som ligger inom och utanför godkända toleranser.
Denna typ av mätmaskin går även under benämningen CMM vilket står för Coordinate Measuring Machine. Man brukar dela in CMM i följande fyra grupper:
Samtliga CMM kan förses med mätprob för så kallad taktil mätning eller med beröringsfri mätenhet såsom tex laser-scanner.
I stort sett alla material expanderar (ökar i volym) eller kontraherar (minskar i volym) med ändrad temperatur, vilket benämns som termisk expansion. Beroende på objektets form så kan detta även resultera vridningar vilket ger avvikande mätresultat trots att en detalj kanske egentligen uppfyller eftersträvade toleranser. Detta gäller även själva mätutrustning och mätbordet varför mätning ofta utförs i tempererade mätrumrum för att minimera denna effekt.
Själva mätbordet är ofta gjort av granit, basalt eller diabas som är stentyper som har extremt lite termisk expantion.
Det finns både 3-axliga (positionering i X, Y och Z-led) och 5-axliga (Positinering i X, Y och Z i komnination med två rotationsmöjligheter).
Intill vadera axel finns mätskalor monterade som läser av linjär- och vinkelposition.