Mätmaskin med prob utförs genom att detaljen som skall mätas fixeras på ett mätbord varefter den CNC-positionerad mätproben tar ut några initiala mätpunkter för att kalibrerar en nollpunkt i X/Y/Z. Därefter körs ett mätprogram där proben positioneras mot eller dras längs (scannar) objektets yta för att generera en mängd mätpunkter av objektets kritiska ytor och feturer.
Mätresultatet kopplas till toleranskraven och ger en omedelbar bild över vilka ytor som ligger inom och utanför godkända toleranser.
I stort sett alla material expanderar (ökar i volym) eller kontraherar (minskar i volym) med ändrad temperatur. Beroende på objektets form så resultera detta även i vridningar vilket ger avvikande mätresultat trots att en detalj kanske egentligen uppfyller eftersträvade toleranser. Detta gäller även själva mätutrustning och mätbordet varför mätning ofta utförs i tempererade mätrumrum för att minimera denna effekt.
Det finns både 3-axliga och 5-axliga mätmaskiner samt mätning med deltarobot.
